Étude expérimentale de l'interaction de l'hydrogène atomique avec des surfaces de silicium. Réalisation du système expérimental, caractérisation et premiers résultats. - PASTEL - Thèses en ligne de ParisTech Access content directly
Theses Year : 2004

Experimental study of amorphous, micro- or polycrystal silicium surface reactivity by atomic and molecular jet.

Étude expérimentale de l'interaction de l'hydrogène atomique avec des surfaces de silicium. Réalisation du système expérimental, caractérisation et premiers résultats.

Abstract

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Dates and versions

pastel-00000937 , version 1 (08-02-2012)

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  • HAL Id : pastel-00000937 , version 1

Cite

Régis Bisson. Étude expérimentale de l'interaction de l'hydrogène atomique avec des surfaces de silicium. Réalisation du système expérimental, caractérisation et premiers résultats.. Physique [physics]. Ecole Polytechnique X, 2004. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨pastel-00000937⟩
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