%0 Thesis %T Experimental study of amorphous, micro- or polycrystal silicium surface reactivity by atomic and molecular jet. %T Étude expérimentale de l'interaction de l'hydrogène atomique avec des surfaces de silicium. Réalisation du système expérimental, caractérisation et premiers résultats. %+ Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau] (LPICM) %A Bisson, Régis %I Ecole Polytechnique X %Y Marc Chatelet %8 2004-09-29 %D 2004 %K Silicium %K Hydrogène %K Interactions particule-surface %Z Physics [physics]Theses %X Résumé non disponible %G French %2 https://pastel.hal.science/pastel-00000937/document %2 https://pastel.hal.science/pastel-00000937/file/Bisson.pdf %L pastel-00000937 %U https://pastel.hal.science/pastel-00000937 %~ X %~ PASTEL %~ CNRS %~ X-PICM %~ X-DEP %~ X-DEP-PHYS %~ PARISTECH %~ LPICM