@phdthesis{levif:pastel-00003567, TITLE = {{Excitation multifr{\'e}quence dans les d{\'e}charges capacitives utilis{\'e}es pour la gravure en micro-{\'e}lectronique.}}, AUTHOR = {Levif, Pierre}, URL = {https://pastel.hal.science/pastel-00003567}, SCHOOL = {{Ecole Polytechnique X}}, YEAR = {2007}, MONTH = Nov, KEYWORDS = {d{\'e}charges capacitives VHF ; excitation multifr{\'e}quence ; plasmas basse pression ; effet d'onde stationnaire ; effet de peau ; transition E-H}, TYPE = {Theses}, PDF = {https://pastel.hal.science/pastel-00003567/file/Levif.pdf}, HAL_ID = {pastel-00003567}, HAL_VERSION = {v1}, }