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authFullName_s : Pierre Levif
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Excitation multifréquence dans les décharges capacitives utilisées pour la gravure en micro-électronique.

Pierre Levif
Physique des plasmas [physics.plasm-ph]. Ecole Polytechnique X, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses pastel-00003567v1